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理化科学实验中心蔡司GeminiSEM450场发射扫描电子显微镜运行通知

发(fa)布时间:2019-10-26

理化科学实(shi)验(yan)中心新购置(zhi)的蔡司(si)GeminiSEM 450场发射(she)扫描电子显(xian)微(wei)镜已于近(jin)期安(an)装(zhuang)完毕。本仪器配备Gemini2双聚光(guang)镜(jing)电(dian)子(zi)光(guang)学镜(jing)筒,可(ke)(ke)在低束流的(de)高分辨率成像(xiang)与高束流的(de)分析(xi)模(mo)式之间(jian)进行无缝切换,为各种不(bu)同应(ying)用(yong)提(ti)供全方位的(de)适(shi)用(yong)性和灵(ling)活性。可(ke)(ke)观察物体二次电(dian)子(zi)像(xiang)、背散射电(dian)子(zi)像(xiang),同时可(ke)(ke)进行X射线能谱分析和背散射电子衍(yan)射分析。


  

 1固体物(wu)质表(biao)面形貌观察


观察(cha)样品时(shi)可不(bu)喷金或者少喷金,可广(guang)泛应用于生物(wu)、物(wu)理、化(hua)学(xue)、纳米材(cai)料、金属材(cai)料、高分子材(cai)料等方(fang)面的表面形貌观察(cha)、粒(li)度测量(liang)、集成电路(lu)质(zhi)量(liang)检验、断(duan)口分析、失效分析等。


2背散(san)射电子像(BSE


背散射电子像可显示出试样微(wei)区原(yuan)(yuan)子(zi)序数(shu)或化(hua)学成分(fen)的差(cha)异,即(ji)试样的成分(fen)衬(chen)度。根据背散射电子(zi)像的亮(liang)暗程度,可判(pan)别出相(xiang)应区域的原(yuan)(yuan)子(zi)序数(shu)的相(xiang)对大小(xiao),由此可对陶瓷、金(jin)属或合金(jin)等材料的显微(wei)结(jie)构进行分(fen)析。


3X射线(xian)能谱(EDS)

  

配备牛津Aztec系列X射线能谱仪,分析元素范围592U,可对固体物质进行微区元素成分分析,适用于生物学、医学、化学、化工学、物理学、金属学等相关学科的有关物体的微区元素定性、半定量分析。

  

4. 背散射电子衍射(EBSD

  

BSD可(ke)测定晶体材(cai)料的晶体结构(gou)和取向,用(yong)于(yu)研究(jiu)材(cai)料的微观组织结构(gou)和织构(gou),已(yi)成为材(cai)料研究(jiu)中(zhong)一种有效的分(fen)析手段。目前EBSD技(ji)术的(de)应用(yong)领域包(bao)括(kuo):工业生产的(de)金属(shu)和合金、陶瓷(ci)、半导体(ti)、超(chao)导体(ti)、矿石——以(yi)研究各种现象(xiang),如热机械处(chu)理过(guo)程、塑性(xing)(xing)(xing)变形过(guo)程、与取向关(guan)(guan)系(xi)有关(guan)(guan)的(de)性(xing)(xing)(xing)能(成型性(xing)(xing)(xing)、磁(ci)性(xing)(xing)(xing)等(deng))、界面性(xing)(xing)(xing)能(腐蚀、裂纹(wen)、热裂等(deng))、相鉴(jian)定(ding)等(deng)。


仪器主要技术指标:


二次(ci)电子像分辨率:0.7nm @15kV, 1.1nm@1kV(非样(yang)品台减速(su)模式下(xia));分(fen)析分(fen)辨率:2.0 nm @ 15 kV(≥5nA);


能谱仪:分辨率(MnKa)127eV,分析元素范围:5B92U 


电(dian)子背散射衍射仪(EBSD):相机(ji)分(fen)辨率(lv):1344*1024像素(su),角分辨率:0.05度,最大速度:100Hz


该仪器目前已经基本调试完毕,各项指标符合要求,现已投入运行,有测试需求的老师和同学请与扫描电镜机组联系测试,电话:0551-63606441


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